與其他氣體相比，稀有氣體都是單原子分子，這是它們的一個特點，也是由于它們的“惰性”所決定的。盡管如此，按照元素周期表的規律，自上而下，隨著原子序數的遞增，它們相互間的惰性也是有差異的。例如，已經發現在一定條件下，氙可以與氟相互作用生成三氟化氙。
稀有氣體因其在自然界中量少而得名，主要包括氦（He）、氖（Ne）、氬（Ar）、氪（Kr）、氙（Xe）、氡（Rn）六種氣體，其中氡是放射性元素，故除了作為科研測漏之外，工業生產中尚未得到廣泛的應用。稀有氣體是元素周期表中的第八族元素（或零族），原子最外層軌道上已被電子充滿，結構穩定，通常不與其他物質反應，性質不活潑，故稱為惰性氣體。
氬：
1、用作白熾燈的填充氣體，以抑制熾熱鎢絲的揮發，延長燈的壽命；
2、填充在熒光燈中，幫助啟動，保護電極免受汞離子的沖擊，同時延緩陰極上金屬的蒸發；
3、充入冷陰極放電管中，可獲得淡藍色的發光；
4、在高壓汞燈和金屬鹵化物燈中起啟動和緩沖作用；
5、在微波激發下發射真空紫外譜線（104.8nm和106.7nm）,用作光化學反應源。
氖：
1、與氬混合組成潘寧氣體，充填在熒光燈中，可降低燈的啟動電壓；
2、充于冷陰極放電管中，可獲得橙紅色的發光，用作指示燈；
3、在微波激發下，發射單色的真空紫外譜線（74.4nm和73.6nm）
氙：
1、充入HID氙燈中，在啟動后立即獲得全部光輸出的80%，放電時發射白光，色溫5500K；
2、可制成鹵素混合氣體填充鹵素燈；
3、在微波激發下，發射單色的真空此外譜線（14.7nm）
氪：
1、與氬混合，充填在熒光燈中，可提高光效，但啟動困難；
2、可制成鹵素混合氣體填充鹵素燈；
3、氪85同位素氣體可填充入金屬鹵化物燈，幫助啟動；
4、在微波激發下，發射單色的真空紫外譜線（123.6nm和116.5nm）
氦：
1、與其它惰性氣體混合用于大功率熒光燈中；
2、在微波激發下，發射單色的真空紫外譜線（58.4nm）
與其他氣體相比，稀有氣體都是單原子分子，這是它們的一個特點，也是由于它們的“惰性”所決定的。盡管如此，按照元素周期表的規律，自上而下，隨著原子序數的遞增，它們相互間的惰性也是有差異的。例如，已經發現在一定條件下，氙可以與氟相互作用生成三氟化氙。因此，所謂的惰性也是相對的，要具體分析，當然，從總體上說，稀有氣體還是屬于化學性質極不活潑的一類氣體。
稀有氣體在電光源中的主要用途
用氙氣做成氙燈，則能發出近似日光的密集光譜用于放映和照明。稀有氣體除作為燈內的工作物質外，氬氣也常作為電光源生產工藝中的保護氣體使用。